應用范圍:
● 龍門雙驅直線電機送料,速度可達2m/s,重復定位精度達1um;
● 龍門雙驅雙伺服張力虛軸控制,張力波動±1N(30N);
● 主動收放卷PID控制及高精度卷徑計算,料卷卷徑精度0.1mm;
● 雙X-Y切割及疊層對位調整,調整范圍±5mm,精度±1um;
● CCD在線疊層錯位精度檢測,檢測精度3.45um;
● 油壓系統采用全閉環磁柵尺控制,壓力精度±0.5噸(80噸);
● 上下料全自動真空吸附,為避免Bar塊運輸中受損,采用非接觸式吸附。
設備關鍵參數:
疊層精度 | +/-8.5um |
電極最小膜厚 | 0.8um |
Bar塊尺寸 | 310(W)*310(L)*Max10(H)mm |
疊層效率 | 3.5s/PCS(機械周期) |
疊層最大層數 | 1000層 |
溫度控制 | 40~80℃(±0.5℃) |
油壓壓力 | 最大 80Ton(±0.5噸) |
CCD在線錯位檢測精度 | 3.45um |
電氣規格:
能量功耗 | 35KW |
工作電壓 | 380VAC 50Hz |
控制界面 | 觸摸屏 |
控制方式 | PLC |
機械規格:
設備尺寸 | 2330(W)*4420(L)*2400(H)mm |
開門尺寸 | 820(W)*1670(H)mm |
凈重 | 約7800kg |
毛重 | 約8000kg |
氣源壓力 | 0.5~0.8MPa,200L/分鐘 |